真空壓力傳感器是能感受壓力信號，并能按照一定的規律將壓力信號轉換成可用的輸出的電信號的器件或裝置。可以通過它們所能測量的壓強范圍，工作溫度以及壓強類型而進行分類；其中重要的是壓強類型。
真空壓力傳感器的原理：
主要分為兩類：分別是半導體壓電阻型和靜電容量型，下面我們分別介紹一下它們的原理。
半導體壓電阻型：在薄片表面形成半導體變形壓力，通過外力使薄片變形而產生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉換成電信號。
靜電容量型：將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容，將通過外力使可動極變形所產生的靜電容量的變化轉換成電氣信號。
真空壓力傳感器的用途：
由于結構不同，可以分為測定壓力、對大氣的相對壓力和差壓。測定壓力時，傳感器內自身帶有真空參考壓，所測壓力與大氣壓力無關，是相對于真空的壓力。對大氣的相對壓力是以大氣壓力為參考壓，因此傳感器彈性膜一側始終與大氣是連通的。由于大氣壓力與離地面的高度、四季中大氣中水汽含量的變化以及不同地點和組成大氣的各種氣體的含量的變化有關。因此，所測得的相對壓力便與上述因素有關。
此外，還可從傳感器彈性膜兩側分別導人流體壓力，這樣能測定流體不同地點或流體間的差壓。針對不同用途應選用不同結構的壓力傳感器。
更新更新時間：2022-09-26
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